窒化・軟窒化技術用語辞典

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デュアルチャンバー（加熱槽）式
デュアルレーン・リフローシステム

 

  • Mark 5リフローシステムは、新型高レスポンス・高ボリューム型加熱モジュールを搭載。
  • 基板全面を高いダイナミックプレッシャーにより高速かつ均一に加熱し最小のΔTを追求。
  • さらに電気、及び窒素の消費量を従来比40％の削減を実現。

 

特徴

Mark 5 Series にデュアルレーン生産方式に最適化される新発想のデュアル加熱槽（チャンバー）式デュアルレーン・リフローシステムが登場！